一种非晶态碳化硅薄膜的制备方法及其薄膜晶体管 | |||
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申请号 | CN201310078664.5 | 申请日 | 2013-03-12 |
公开号 | CN104051243A | 公开日 | 2014-09-17 |
发明(设计)人 | 郭立强;万青;杨园园;竺立强;吴国栋 | ||
主分类号 | H01L21/205(2006.01)I | ||
分类号 | H01L21/205(2006.01)I;H01L29/786(2006.01)I;H01L29/10(2006.01)I;H01L29/04(2006.01)I | ||
申请(专利权)人 | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 | ||
代理机构 | 杭州天勤知识产权代理有限公司 33224 | ||
代理人 | 刘诚午 | ||
地址 | 315201 浙江省宁波市镇海区庄市大道519号 | ||
摘要 | 本发明公开了一种非晶态碳化硅薄膜的制备方法,以硅源、碳源作为反应源,氩气作为保护气体,在掺杂剂的作用下,通过化学气相沉积技术得到。本发明还公开了一种非晶态碳化硅薄 |