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一种非晶态碳化硅薄膜的制备方法及其薄膜晶体管(CN201310078664.5)
日期:2014-09-17, 查看:757
一种非晶态碳化硅薄膜的制备方法及其薄膜晶体管
申请号CN201310078664.5申请日2013-03-12
公开号CN104051243A公开日2014-09-17
发明(设计)人郭立强;万青;杨园园;竺立强;吴国栋
主分类号H01L21/205(2006.01)I
分类号H01L21/205(2006.01)I;H01L29/786(2006.01)I;H01L29/10(2006.01)I;H01L29/04(2006.01)I
申请(专利权)人中国科学院宁波材料技术与工程研究所
代理机构杭州天勤知识产权代理有限公司 33224
代理人刘诚午
地址315201 浙江省宁波市镇海区庄市大道519号
摘要本发明公开了一种非晶态碳化硅薄膜的制备方法,以硅源、碳源作为反应源,氩气作为保护气体,在掺杂剂的作用下,通过化学气相沉积技术得到。本发明还公开了一种非晶态碳化硅薄
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