| 一种柔性超薄玻璃的制备方法 | |||
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| 申请号 | CN201310078708.4 | 申请日 | 2013-03-12 |
| 公开号 | CN104045221A | 公开日 | 2014-09-17 |
| 发明（设计）人 | 万青;郭立强;杨园园;竺立强;张洪亮;吴国栋 | ||
| 主分类号 | C03B19/00(2006.01)I | ||
| 分类号 | C03B19/00(2006.01)I;C03B18/02(2006.01)I | ||
| 申请(专利权)人 | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 | ||
| 代理机构 | 杭州天勤知识产权代理有限公司 33224 | ||
| 代理人 | 刘诚午 | ||
| 地址 | 315201 浙江省宁波市镇海区庄市大道519号 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种柔性超薄玻璃的制备方法，采用化学气相沉积技术，在低熔点的锡溶液上首先制备一层氮化硅薄膜，再制备一层二氧化硅薄膜，最后抽取Si 3 N 4 /SiO 2 膜，根据柔性玻璃 | ||
